某半导体工厂在制造加工线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东 HVA 不锈钢真空闸阀 11000 ，作为真空隔离密封.
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
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阀门材质: |
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- 阀门主体 |
304 不锈钢 |
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- 焊接波纹管轴封 |
AM - 350 |
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阀门密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡胶 |
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- 超高真空 |
铜垫圈 / 氟橡胶 |
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真空: |
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- 压力范围 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差压关闭 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 开启前好大压力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤温度（不含电磁阀）: |
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- 弹性体密封阀盖 |
150°C |
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- 金属密封阀盖 |
-开启温度：200°C -关闭值：150°C |
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- 驱动方式 |
手动 60 °c, 气动 60 °c |
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机制 |
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手动： |
手摇曲柄 |
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电磁阀供电电压 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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电磁阀可选电压 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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电磁阀位置指示器,好大 |
115 VAC |
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气动送风： |
80 psig |
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使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) |
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公称通径: DN 16 - 800 mm |
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HVA 是真空技术创新者的真空阀门(插板阀), 是高真空阀门的主要制造商和供应商.
在设计真空系统时, 可以轻松集成 HVA 阀门. HVA 闸阀从5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狭缝阀的好大距离为80英寸（2m）, 可以满足您的真空阀门(插板阀)要求. 无论您是升级现有的真空系统还是 OEM 设计新的系统, HVA 都可以提供经济高效的替代阀门解决方案.
HVA 真空阀门(插板阀)的阀体和所有主要内部组件都是内部钎焊的真空炉, 消除了虚拟泄漏的可能性, 阀体变形好小化.
40多年来, HVA 一直在建造业内质量好高, 设计好好的真空阀门(插板阀). HVA 代表着质量, 工程, 定制和服务.
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