真空泵装置由许多不同的零件组成，肯富来水泵观察到它们都是经过各种机械加工完成的，如车、铣、刨、磨、锉、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空设备的极限真空。此外，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空设备极限真空的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。
真空装置使用过程中，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。如真空干燥系统，经常使用后会受到蒸发出来的物质的污染；真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染；离子束刻蚀设备的内壁会被工件溅射的溅散物污染；真空中电子枪的灯丝，由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜；规管灯丝在高温下蒸发，使陶瓷绝缘子上形成薄膜，破坏绝缘强度，影响测量的准确性。真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能，应该注意随时清除。
超高真空系统中，清洁处理更为重要。佛山水泵厂相信良好的清洁处理工艺，可以使材料放气率降低几个数量级。如不锈钢长期暴露于大气后，不进行任何处理，抽气1h后的出气率为2.7x10-1Pa·L/(s•m2)，清除油污后抽气4h，可降到1.3x10-3Pa•L/(s•m2)。在250℃下烘烤15h，出气率进一步降到1.3x10-6Pa•L/(s•m2)。好的清洁处理工艺，可以提高设备的极限真空。
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