DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置
主要技术参数：
◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm；高斯计特斯拉计
◆真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷；
◆真空系统：扩散泵+机械泵+维持泵；
◆极限真空：5×10-4Pa；
◆真空测量方式：数显复合真空计、薄膜压力计；
◆基片台尺寸：Φ100mm；
◆基片台升降：80～100mm；
◆基片台转速：0～10转/分（可调）；
◆热丝温度：2000℃～2500℃；
◆衬底温度：600℃～1000℃；
◆制膜种类：金刚石厚膜、类金刚石膜、氮化硅和碳化硅膜等；
◆工作电源：AC380 V，50Hz；整机功率5KW。电源型式：热丝电源；
◆真空控制方式：手动按钮控制；
◆工艺气体控制方式：4路工艺气体流量控制及显示系统；
◆报警及保护系统：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。
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