往复式真空泵（又称活塞式真空泵）是干式真空泵；它是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体的。
往复式真空泵的结构及减压原理往复式真空泵的结构和作用原理，与往复式压缩机基本相同。它们都是将低压气体经过压缩而提高压强。不同之处在于，前者是从容器中抽出稀薄气体，并将其压缩到一个大气压以上后再排出去，而后者，则是将常压的气体压缩到更高的压强后排出去。
此外，它们在配气机构，即进气阀和排气阀结构方面也有区别，往复式压缩机巾，一般采用弹簧阀，而往复式真空泵中，则多采用滑阀式配气机构。往复式真空泵的压缩比很高，例如要达到95%的真空度时，其极限压力为5kPa，而排气压力为Il2kPa，则其压缩比为22:所以，余隙中残留气体时，对真空泵的制造加工能力会产生非常大的影响。
