对于真空泵机组出现内漏的话，主要的就是发生在有水冷套的设备上，这个时候，我们如果查外漏没有什么疑点的话，但是要留意是不是有机械泵的抽速来看，是不是有比较明显的一个偏低，还有就是对于真空计示值低，再者如果发现机械泵油很快乳化，还有就是真空室内的铁基零部件明显锈蚀，如果出现以上的情况的话，基本的就可以判断是内漏无疑了。
当机组出现内漏的情况，我们要做的就是把其内壁清理干净，然后的话就是通冷却水，看它是不是有湿润点的现象，它的湿润处也就是我们所说的漏点。如果是出现小漏和微漏的情况的话，就比较难查。这个时候，我们常用的方法就是要利用在高真空状态下，对于电离管对某些气体反应敏感来对其进行检漏。不过对于这种方法检漏的话一定的要有耐心，好是经过反复的确认，这样的话，对于我们的漏点也就可以进行确认了。
如果于机组出现大的漏点，我们这个时候就可以用火焰法，直接的利用火苗的偏移的情况，对于我们的漏点进行找出。
所以大家可以定期对真空泵机组进行一下检查，从而及时发现机组设备是否存有内漏问题以及也可以顺便检查机组是否存在其他问题，这样就可以及时发现，及时修复了。
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