吹扫是用于冷却泵体内部和螺杆，爪型干式无油真空泵运转时，螺杆旋转使得被抽气体进入泵腔并且压缩到排气端，由于热压缩，气体温度会迅速升高，一定要立即排除这些热量，防止泵损坏：
开机/停机（清洗）吹扫是为了在真空泵运行前或运行后排出泵内残留的气体或一些有害的物质，如水汽，大气等。开机/停机（清洗）吹扫采用的气体一定要是不影响被抽介质的气体或惰性气体，如氮气、氩气。当被抽气体为腐蚀性气体，毒性气体或者是如树脂这类的聚合物，开机/停机（清洗）吹扫更为重要。
开机/停机（清洗）吹扫：关闭进气口主阀门，启动真空泵并通入吹扫气体20~30分钟以清除残留气体，清理完毕后应立即关闭电机而此时主阀门仍然务必要保持关闭状态。
当我们在对爪型干式无油真空泵吹扫时，当被抽气体不适合用空气吹扫时，就要采用其它的冷却介质比如氮气，以及干燥的、清洁的空气等，这个一定要注意，避免对被抽介质造成不好的影响。
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