一、灵敏度
从一定角度讲，传感器的灵敏度越高越好，因为灵敏度越高，意味着传感器能够感知的变化量越小，即被监测参数稍有微小变化，传感嚣就会有较大的响应，系统马上就能检测到。
在实际测试过程中，不可能人为地改变系统的变化量，使其无限增大，因为这需要改变系统的正常工作状态。此外，高精度的
机械系统，其运动误差量值往往是非常微小的，甚至在微米级以下，如果要检测或辨别这样微小量值的变化，就要求传感器具有较高的灵敏度。
但是，传感器的灵敏度并非越高越好，因为当灵敏度很高时，与测量信号无关的外界噪声很容易混入，并且噪声会被
电子系统进一步放大。这时必须考虑既要检测微小量值，又要尽量降低噪声。为此，往往要求信嗓比愈高愈好，即要求传感器本身噪声小，且不易从外界引进干扰噪声。
限制传感器灵敏度的另一个因素是量程范圈，当输入量增大时，除非有专门的非线性校正措施，传感器不应进入非线性区域，更不能进入饱和区域，某些测试工作要在较强的噪声干扰下进行，这时对传感器来讲，其输入量不仅包括被测量，也包括干扰量，必须保证两者的叠加不能进人非线性区。显然，过高的灵敏度会影响其适用的测量范围。
此外，当被测量是一个向量，并且是一个单向向量时，那么要求传感器单向灵敏度愈高愈好，而横向灵敏度愈低愈好；如果被测量是二维或三维向量，鄢么对传感器还应要求交叉是敏度愈低愈好。
二、精确度
传感器的精确度表示其输出与被测物理量的对应程度。由于传感器处于测试系统的最前端，因此，传感器能否真实地反映被测量值，对整个测试系统具有直接影响。
与精确度相对应的是误差，在工程测量中经常用误差指标来代替精确度指标。
精确度（误差）有绝对精确度（绝对误差）和相对精确度（相对误差）两个指标。
相对精确度（相对误差）表示测量值与真实值的偏离程度，通常用百分数(%)、千分数来表示；绝对精确度（绝对误差）表示测量值与真实值的偏差绝对值，例如位移测量误差1 μm，温度测量误差1℃等。
实际工程中，传感器的精确度（误差）通常用相对精确度（相对误差）即百分数(%)来表示，而系统的精确度（误差）通常用相对精确度（相对误差）与绝对精确度（用绝对误差之和来表示），例如温度测量误差为0.5%士1℃，位移测量误差为0.2%士1μm等。
从一定角度讲，精确度越高越好，而在实际应用中，并非在所有场合下使用的传感器的精确度愈高愈好，因为还应考虑到经济性．传感器的精确度越高，价格越昂贵．因此应从实际需要出发来选择传感器精度。首先应了解测试的目的，判定是定性分析还是定量分析。如果是属于相对比较性的试验研究，只须获得相对比较值即可，那么应要求传感器的重复精度高，而无须要求绝对量值。当然，在某些情况下，例如现代超精密切削机床，其运动部件主轴回转运动误差往往要求测量精确度在0.1—0.01 μm范围内，欲测得这样的量值，必须有高精确度的传感器。
在实际工程测量中，一般情况下要求精度达到1.5%左右即可，有时甚至3%～5%也是可以接受的。
三、线性范围
线性即传感器输出与输入成比例关系，任何传感器都有一定的线性工作范围，线性范围愈宽，则表明传感器的工作量程愈大。
传感器在线性区内工作，是保证测量精度的基本条件，例如，惯性速度式传感器中弹性元件，其材料的弹性极限是决定测量量程的基本因素，当超出测量元件的允许范围时，将产生非线性误整。
然而，对任何传感器，保证其绝对工作在线性区内是不容易的，在某些情况下，在许可限度内也可以取其近似线性区域。例如，变间隙型的电容、电涡流传感器，其工作区域在初始间隙附近，选用时必须考虑被测量变化范围，保证其非线性误差在允许限度以内。
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