KRI 射频离子源辅助沉积镀制385nm紫外带通滤光片

   2023-11-29 1580
核心提示:带通滤光片也叫干涉滤光片,主要起到过滤不想要的杂光,只让想要的光通过的作用. 385nm紫外带通滤光片是带通滤光片中一款UV紫外波

 

带通滤光片也叫干涉滤光片主要起到过滤不想要的杂光只让想要的光通过的作用. 385nm 紫外带通滤光片是带通滤光片中一款 UV 紫外波段的滤光片广泛应用于荧光检测*多波段滤光片它具有高透过率其深截止可保证探测器接收不到其它波长的光因此可保证图像的高亮度和更大的信噪比. 385nm 紫外带通滤光片采用多层硬膜经离子辅助沉积纳米材料高真空蒸发而成膜层致密性好成像清晰度高厚度薄为了得到更优质效果经过推荐上海伯东某客户采用光学镀膜机加装美国原装进口 KRi 大尺寸射频离子源 RFICP 380 镀制 385nm 紫外带通滤光片验证过程及结果如下:

 

应用方向:美国 KRi 射频离子源辅助沉积镀制 385nm 紫外带通滤光片

 

离子源类型:美国 KRi 射频离子源 RFICP 380

 

镀膜设备:1的大型蒸镀设备

 

应用领域:UV 臭氧灯、UV 洗净灯、UV 光分解灯、UV 消毒灯、UV 固化灯、UV-LED 灭菌、UV 紫外光合成灯、荧光分析仪、荧光显微镜、生物芯片、酶标仪、工业相机、分光光度计、医用理化分析设备、刑侦检测、光学仪器、科学摄影、生命科学检测仪器等

 

光学镀膜机加装美国原装进口 KRi 大尺寸射频离子源 RFICP 380 镀制 385nm 紫外带通滤光片可以获得很小的 Ta2O5  SiO2 材料在紫外的吸收率沉积过程稳定加以合理的膜系设计能达到行业好水准.

 

 

上海伯东美国 KRi 射频离子源 RFICP 系列无需灯丝提供高能量低浓度的离子束通过栅极控制离子束的能量和方向单次工艺时间更长射频源 RFICP 系列提供完整的系列包含离子源本体电子供应中和器自动控制器等射频离子源适合多层膜的制备离子溅镀镀膜和离子蚀刻改善靶材的致密性光透射均匀性附着力等.

 

 

射频离子源 RFICP 系列技术参数:

 

型号

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

Discharge 阳极

RF 射频

RF 射频

RF 射频

RF 射频

RF 射频

离子束流

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

栅极直径

4 cm Φ

10 cm Φ

14 cm Φ

22 cm Φ

38 cm Φ

离子束

聚焦平行散射

 

流量

3-10 sccm

5-30 sccm

5-30 sccm

10-40 sccm

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

长度

12.7 cm

23.5 cm

24.6 cm

30 cm

39 cm

直径

13.5 cm

19.1 cm

24.6 cm

41 cm

59 cm

中和器

LFN 2000

 

KRI 射频离子源其余相关应用:

KRi 射频离子源 IBSD 离子束溅射沉积应用 (hakuto-china.cn)

KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 溅射沉积立方氮化硼薄膜 (hakuto-china.cn)

KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 溅射制备微晶硅薄膜 (hakuto-china.cn)

KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 溅射沉积 Ir 膜 (hakuto-china.cn)

 

 

相关产品:

美国 KRi 射频离子源 RFICP 380,满足 300 mm (12英寸)晶圆应用. (hakuto-china.cn)

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上海伯东同时提供真空系统所需的涡轮分子泵, 真空规, 高真空插板阀等产品, 协助客户制造加工研发高质量的真空系统.
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发制造加工考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域.
 

上海伯东是美国Gel-pak 芯片包装盒, 日本 NS 离子蚀刻机, 德国 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 比利时原装进口 Europlasma 等离子表面处理机 和美国 Ambrell 感应加热设备等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322                            F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
www.hakuto-china.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw


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